Máquina de revestimento por pulverização catódica magnetron a vácuo

Vacuum Magnetron Sputtering Coating Machine
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Máquina de revestimento por pulverização catódica magnetron a vácuo

O revestidor de pulverização catódica por magnetron TOB-1100X-SPC-16M utiliza o efeito de pulverização catódica produzido pelo bombardeio de partículas do material alvo em um ambiente de vácuo, o que faz com que os átomos ou moléculas do material alvo sejam disparados da superfície sólida, e o processo de formação de uma película fina é depositado no substrato.

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Introdução de Produto

Máquina de revestimento por pulverização catódica magnetron a vácuo

Especificação

O revestidor de pulverização catódica magnetron TOB-1100X-SPC-16M utiliza o efeito de pulverização catódica produzido pelo bombardeio de partículas do material alvo em um ambiente de vácuo, o que faz com que os átomos ou moléculas do material alvo sejam disparados da superfície sólida, e o processo de formação de uma película fina é depositado no substrato. Pertence à preparação de deposição física de vapor (PVD) da tecnologia de película fina. O revestidor de pulverização catódica magnetron TOB-1100X-SPC-16M pode ser usado para a preparação de amostras de microscópio eletrônico de varredura no laboratório, e o tamanho compacto do equipamento economiza espaço no laboratório; a operação é simples e adequada para iniciantes.

Características

É equipado com medidor de vácuo e medidor de corrente de pulverização catódica, que podem monitorar o status de trabalho em tempo real.
Ao ajustar o controlador de corrente de pulverização catódica e a válvula de gás de microvácuo, ele controla a pressão da câmara de vácuo, a corrente de ionização e seleciona o gás de ionização necessário para obter o melhor efeito de revestimento.
O anel de vedação de borracha na borda da caixa do sino foi especialmente projetado para garantir que a caixa de vidro do sino não lasque com o uso a longo prazo.
Os conectores de eletrodo de alta tensão selados com cerâmica são mais duráveis do que as vedações de borracha normalmente utilizadas.
De acordo com as características de ionização do gás no campo elétrico, uma câmara de vácuo de pulverização catódica de grande capacidade e uma área correspondente do alvo de pulverização catódica são usadas para tornar a camada pulverizada mais uniforme e pura.
O cabeçote de pulverização catódica utiliza tecnologia de resfriamento Peltier para obter revestimentos de partículas finas de alto desempenho.
Cabeças de pulverização e mesas de suporte refrigeradas a água estão disponíveis.

Nome do Produto	Máquina de revestimento por pulverização catódica magnetron a vácuo
Modelo do produto	TOB-1100X-SPC-16M
Condição de instalação	Este equipamento deve ser usado a uma altitude de 1000 m ou menos, a uma temperatura de 25 graus ±15 graus e uma umidade de 55% UR ±10% UR. 1. água: o equipamento precisa ser equipado com máquina de resfriamento de água autocirculante opcional (enchendo água pura ou água deionizada) 2. eletricidade: AC220V 50Hz, deve ter um bom aterramento 3. gás: câmara do equipamento a ser preenchida com argônio (pureza de 99,99% ou mais), precisa fornecer seu próprio cilindro de gás argônio (com válvula redutora de pressão) 4. Mesa de trabalho: tamanho 600 mm × 600 mm × 700 mm, suportando carga de 50 kg ou mais. 5. Dispositivo de ventilação: não necessário
Parâmetro principal	1. Alvo: Ø50mm
	2. Câmara de vácuo: Ø160mm×120mm
	3. grau de vácuo: menor ou igual a 4×10-2mbar
	4, corrente máxima: 50mA (opcional 100mA)
	5. O tempo limite pode ser definido: 9999s
	6. Válvula de micro vácuo: Conecte a mangueira de Ø3mm
	7. Limite de tensão: 1600 V DC
	8. bomba mecânica: 2L/s
	9. Material alvo: Requisito de tamanho: φ50mm×(0.1-0.5)mm(espessura) Adequado para pulverização catódica de Au, Ag, Cu e outros metais (disponível em nossa empresa)
	10. Tamanho: 360 mm × 300 mm × 380 mm Peso total: 50Kg, Peso líquido: 15Kg